ＭＥＭＳ

正式名称:Micro Electro Mechanical Systems
直訳すると微小な電気機械部品といった感じですが、圧力センサーやプリンタのヘッドのような集積した機器のことをいいます。ＤＮＡの操作といった微小な空間でのツールとしても使われています。